검찰이 삼성전자 자회사인 세메스가 개발한 반도체 세정장비 핵심 기술을 빼내 장비를 만든 뒤 이를 중국으로 넘긴 연구원들의 1심 판결에 불복해 항소했다.

수원지검 방위사업산업기술범죄수사부(부장검사 박진성)는 부정경쟁방지법위반, 산업기술보호법 위반 등 혐의로 기소된 A(47)씨 등 세메스 전 연구원들의 1심 판결에 불복해 항소했다고 24일 밝혔다.

검찰 관계자는 "피고인들은 반도체 세정장비 핵심기술을 조직적으로 국외 유출해 약 710억원의 막대한 이익을 취하는 등 그 범행이 매우 중대하고, 취득한 범죄수익이 매우 큼에도 1심 선고형량이 그에 미치지 못했다"며 "또 3회에 걸친 법원의 추징보전 결정(약 584억원)까지 있었음에도 추징이 선고되지 않은 점 등을 고려했다"고 항소 이유를 설명했다.

A씨 등은 2018년 3월부터 2021년 12월까지 3년여간 세메스의 영업비밀인 반도체 세정장비 기술을 부정취득해 장비 24대를 만들고 이 중 710억원 상당의 장비 14대를 중국 경쟁업체 또는 반도체 연구소에 넘긴 혐의로 기소됐다.

이들은 세메스 협력업체 직원들에게 부탁하거나 퇴사 시 관련 정보를 반납하지 않는 등 방식으로 세메스 세정장비 관련 기술정보 및 설계도면, 작업표준서 등을 부정취득한 것으로 조사됐다.

반도체 세정장비는 반도체 기판에 패턴을 조각하는 과정에서 발생하는 오염물질을 제거하는 장비로, 세정과정에서 발생하는 반도체 수율 불량을 줄이기 위해 고도의 기술력이 필요한 장비다.

세메스사는 황산이 포함된 고온의 약액으로 세정하는 장비, 이송 로봇의 팔을 2개에서 4개로 늘려 세정 속도를 높이는 장비 부문에서 기술력을 선도해왔는데 관련 정보들을 빼내 비슷한 스펙의 장비를 만들어 수출한 것이다.

A씨 등은 또 중국의 반도체 기업과 합작법인을 설립해 관련 기술을 모두 이전하고 그 대가로 합작법인 지분 20%를 받기로 한 것으로 파악됐다.

이 사건 1심 재판부는 A씨의 혐의 대부분을 유죄로 인정하며 징역 4년을 선고했다. 또 A씨와 공모해 반도체 세정장비를 만들고 이를 중국에 넘기는 데 적극 가담한 직원 4명에게 각각 징역 2년6월을, 범행에 가담했으나 그 정도가 가벼운 2명에게는 각각 징역 2년6월에 집행유예 3년을 선고하고 80시간의 사회봉사를 명령했다.