삼성전자와 그 자회사가 개발한 국가핵심기술을 도용해 제작한 반도체 세정장비를 중국에 수출하려 한 중국 반도체 장비업체 국내 계열사 사장이 구속 상태로 재판에 넘겨졌다.

19일 수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사 박경택)는 최근 산업기술보호법위반, 부정경쟁방지및영업비밀보호에관한법률위반(영업비밀국외누설등) 등 혐의로 중국계 회사 운영자 A(55)씨와 설계팀장 B(43)씨 등 2명을 구속기소 했다고 밝혔다. 또 같은 혐의로 A씨가 운영한 회사 등 법인 3곳과 회사 직원 등 관련자 9명을 불구속기소 했다.

중국 최대 반도체 장비업체의 국내 계열사 사장인 A씨는 B씨 등과 공모해 2021년 10월부터 2024년 4월까지 국내 최대 반도체 장비 제조업체이자 삼성전자의 자회사인 세메스의 세정장비 챔버부 설계도, 이송로봇 도면 등을 부정사용한 혐의를 받는다.

또 삼성전자의 세정공정 레시피(세정장비를 구동하는 세부 절차와 방법을 정리한 문서)를 활용해 새로운 레시피를 작성한 혐의도 있다.

반도체 제조는 '웨이퍼'라는 원판 위에 레이저와 화학약품 등을 이용해 회로를 붙이고 깎는 작업을 반복하며, 이 과정에서 발생하는 이물질을 정밀하게 제거해야 한다.

이때 발생하는 이물질은 머리카락 굵기의 1만분의 1 정도로 매우 작아 제조 중인 반도체를 훼손하지 않고 이물질만 제거하는 것은 초고난도 기술이다.

이에 삼성전자와 세메스는 30여 년간 막대한 자본과 인력을 들여 세계 최고 수준의 세정기술을 완성했는데, 이번 사건으로 그 핵심 노하우를 빼앗길 뻔한 것이다. 이들이 유출한 레시피와 세정장비 설계도면 등은 산업부에서 국가핵심기술 및 첨단기술로 지정돼있다.

검찰은 이번 범행이 기존 기술유출 사건처럼 외국 기업이 고액 연봉을 내세워 엔지니어들을 스카우트하는 방식이 아닌, 외국 기업이 직접 국내에 거점업체를 신설·운영하면서 조직적으로 기술유출을 시도하는 신종 수법으로 이뤄졌다고 설명했다.

앞서 삼성전자 출신으로 반도체 부품업체를 운영하던 A씨는 2018년 고연봉을 제시하며 삼성전자 출신 등 국내 반도체 제작 전문가들을 영입해 세정장비 개발을 시도해왔다.

그러다 2021년 11월 78억여원을 받고 중국 회사 국내 법인에 인력과 기술 등을 모두 양도하고, 중국 회사를 위한 세정장비를 개발하기로 계약했다.

A씨는 이후 영입된 직원들이 각자 근무하던 업체에서 퇴사할 무렵 불법 유출한 자료나 지인들로부터 자료를 받아 국내 반도체 업체 기술자료를 수집하기 시작했고, 이를 바탕으로 세정장비 개발을 주도해 시제품 2대와 양산장비 2대를 제작한 것으로 조사됐다.

제작된 시제품 1대는 중국으로 유출됐으나, 나머지 세정장비 3대는 현재 검찰에 압수된 상태다.

지난해 1월 국정원 산업기밀보호센터의 정보로 수사에 착수한 검찰은 같은 해 4월 이 사건 회사들에 대한 압수수색을 진행한 뒤 지난 17일 A씨 등 관련자들을 기소했다.

이들은 평소 수사에 대비해 가명을 사용했으며, 각종 기술자료를 베낀 뒤에는 철저히 삭제하고 수출된 시제품을 우연히 목격한 동종업계 종사자들이 신고하려 한다는 소문을 듣자, 휴대전화를 단체로 교체했던 것으로 파악됐다.

검찰은 "피고인들은 기술을 빼돌린 것이 아니라 자체적으로 개발했다고 부인했으나 검찰은 이들 회사 자료에 남겨진 '디지털 지문'을 확인할 수 있는 새로운 포렌식 기법을 이용해 타 업체의 기술이 도용된 사실을 밝혀냈다"면서 "이들 업체가 중국 본사로부터 받은 개발자금 약 100억원 상당을 추징보전 하는 등 범죄수익 환수 조치도 한 상태"라고 말했다.